电子系研究生“抗疫学术沙龙活动”系列讲座第七期（2020级硕士研究生）
报告题目：基于扫描探针显微镜的铪锆氧薄膜的研究
报告人：李云康琪
报告时间：2022/07/01 13:00-14:00
腾讯会议号：257-832-994
腾讯会议链接：https://meeting.tencent.com/dm/d4ePA7z7Q3mF
报告人简介：李云康琪 研究方向为基于扫描探针显微镜的铪氧薄膜的研究
报告摘要：随着信息数字化的持续发展，探索基于新材料的新器件和新架构已经成为发展芯片技术的关键核心之一。作为新型的数据存储载体，萤石结构的铪基氧化物由于具有与CMOS高度的兼容性和在纳米尺寸下稳定铁电性，有望成为后摩尔时代突破算力瓶颈的关键材料。然而，铪基氧化物铁电性的物理起源尚还存在着争议，同时相比于器件层面大量的铁电性报道，微纳尺寸下铪基氧化物薄膜的铁电特性表征仍然面临着巨大的挑战，这也成为制约基于铪基氧化物的铁电场效应晶体管，铁电负电容场效应晶体管和铁电隧道结等新兴逻辑器件和存储器件的性能优化和实际应用的瓶颈。
